真空热压烧结炉的真空系统由KT-400油扩散泵一台为主泵，RTO-300罗茨泵，2X-70型机械泵为粗抽泵做主泵的前级泵，还有冷阱。

主阀为GDQ-400气动挡板阀一个，管道阀GDQ-150气动挡板阀一个GDQ-80气动挡板阀一个。电磁压差阀及真空管道，组成该炉的真空系统。