在特种陶瓷的精密加工方面，真空扩散焊接法分种*有前途的方法。采用真空扩散焊接法不仅可获得高致密度、高强度、高几何规格精度的金属陶瓷制品（泄漏率不大于5×10-11立方米·帕/秒），而且无需使用贵重的稀有焊料，可用于制作各种形状、各种规格，特别是大规格的金属陶瓷制品。

采用刀具加工陶瓷也引起了人们的极大兴趣。目前，这方面的工作仅处于研究实验阶段，由于用超高精度的车床和金刚石单晶车刀进行加工，以微米数量的微小吃刀深度和微小的走刀量，能获得0.1微米左右的加工精度， 因而许多国家把这种加工技术当作超精密加工的一个方面而加以开发研究。